duv光刻机可以加工几纳米芯片

当前的DUV光刻机可以制作包含20纳米以下的微小微芯片，有些能够制作到8纳米甚至更小的可生产量产物。其可处理的物料的精度取决与光源生产商的技术水平，以及光刻系统的设定。